愛德華羅茨泵需要不需要前級泵呢?

發(fā)表時(shí)間:2020-04-24 16:18 / 次瀏覽

一、愛德華羅茨泵需要不需要前級泵嗎?

1、愛德華羅茨泵是需要前級泵的，否則會(huì)因?yàn)槌惺懿涣四敲创蟮膲翰睿瑢?dǎo)致崩潰，這就是為什么愛德華羅茨泵需要設(shè)計(jì)這個(gè)來做增壓泵的原因了。

二、羅茨泵為什么要配置前級泵

羅茨風(fēng)機(jī)可以直接用來抽負(fù)壓，常規(guī)的羅茨泵來說，因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)定性，承受不了那么大的壓差，就是當(dāng)初設(shè)計(jì)的時(shí)候就是當(dāng)做增壓泵來設(shè)計(jì)的。

三、羅茨真空泵前級泵選擇?

羅茨真空泵前級泵選擇：

羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須配上前級泵組成機(jī)組，使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級真空泵的抽速是重要的，羅茨真空泵的最大壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，最大壓縮比最多大3：1，而最高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1，甚至更高些。

因此，莞鑫提醒：選擇前級泵的抽速，要根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并長期工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級泵。

先假定用30升/秒的前級泵時(shí)，壓縮比K=600：30=20得出K=20時(shí)最大排出壓力為30 mbar。

由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級泵時(shí)，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。

另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對預(yù)抽時(shí)間的要求問題，如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長，可選較小的前級泵;假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。

對羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的，對極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機(jī)械泵或雙級滑閥機(jī)械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時(shí)，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。